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當(dāng)前位置：北京漢達(dá)森機(jī)械技術(shù)有限公司>>備件>> SPS旋涂儀 POLOS 200用于涂布清洗漂洗/干燥
產(chǎn)品型號(hào)
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地鄭州市
更新時(shí)間：2025-09-13 17:11:14瀏覽次數(shù)：1238次
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楊鵬輝
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SPS旋涂儀 POLOS 200用于涂布清洗漂洗/干燥
POLOS 200 高級(jí)單基板旋轉(zhuǎn)處理器，臺(tái)面模型桌面版，自動(dòng)化學(xué)品分配，重型電機(jī)。它支持多種流體，
這要?dú)w功于天然聚丙烯和聚四氟乙烯的全塑料外殼。電機(jī)模式旋轉(zhuǎn)的控制，
結(jié)合POLOS Advanced系統(tǒng)中多達(dá)6個(gè)自動(dòng)點(diǎn)膠機(jī)，可實(shí)現(xiàn)多層薄膜的均勻沉積和光刻膠顯影。
這些功能通過全自動(dòng)配方和高可重復(fù)性實(shí)現(xiàn)快速工藝優(yōu)化。
適用于涂布、清洗、漂洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI等工藝
特性
自動(dòng)化學(xué)品分配
重型電機(jī)
支持多種流體
多達(dá) 6 個(gè)自動(dòng)分配器
特點(diǎn)
高達(dá) 260 mm 的圓形或 6“ x 6" 方形基板
材料：天然聚丙烯（高級(jí)NPP，工具體和所有接液表面）或PTFE
帶注射器支架的透明蓋，用于集中點(diǎn)膠
CW 和 CCW 水坑旋轉(zhuǎn)
（可拆卸）帶有可定制圖標(biāo)的彩色觸摸屏
手套友好，IP52，耐化學(xué)腐蝕
無限程序存儲(chǔ)，用于每個(gè)步驟的食譜
USB端口
標(biāo)準(zhǔn) 1“ 排水連接
與我們的藍(lán)寶石MegPie兆聲波換能器兼容
我們還為該系列提供可選的背面沖洗蓋和氣動(dòng)蓋、真空泵、分散容器和噴射噴射器！
包括
3 個(gè)可編程干式繼電器，標(biāo)稱開關(guān)容量 0.5A / 125 VAC - 0.3A / 60DC
1 件式真空吸盤 A-V36-S45-NPP，適用于直徑達(dá) ? 150mm 的基板和 1 件式碎片適配器 D-V10-S50-NPP
型號(hào)
POLOS 200
POLOS 300
POLOS 450
POLOS SPIN150i
POLOS SPIN200i
SPS旋涂儀 POLOS 200用于涂布清洗漂洗/干燥
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