u  體積電阻率試驗儀

電阻率是半導體材料最重要的特性參數之一，通過對其測量，可以掌握樣品中雜質濃度的分布情況。因此，在半導體工業(yè)中，必須快速、準確地對硅晶圓片電阻率進行測量和分檔。 本文首先詳細分析了四探針電阻率測試原理，在比較了幾種測試方法的基礎上，確立了矩形四探針法，與國內廠家現在普遍采用的直線四探針法相比，用矩形四探針法可以獲得更小的測量微區(qū)，而且其游移偏差也小于直線四探針測量所產生的偏差。 在此基礎之上，將直流四探針測試方法與嵌入式系統(tǒng)相結合，設計出數字化智能四探針電阻率測試儀，詳細說明了各部分電路的組成及功能，以及相應的軟件設計。該系統(tǒng)依據直流四探針法原理，采用由16位單片機MSP430控制的高穩(wěn)定度可編程恒流源電路和低溫漂、低噪聲可編程放大器電路，以及自動量程轉換電路等部分構成測量回路，使得該儀器能夠自動識別待測樣品的電阻率，并根據電阻率大小自動切換量程，既可以獨立工作，又可以通過RS-232接口與PC機通信，大大提高了該測試儀的數據處理能力和測量精度，而且操作十分方便高效。該測試儀有較高的實用價值和發(fā)展前景。

u  符合標準：

GB/T31838第2.3.4部分測試要求、

GB/T 1410《固體絕緣材料體積電阻率和表面電阻率試驗方法》（等同IEC 60093）、

GB/T 10064《測定固體絕緣材料絕緣電阻的實驗方法》（等同IEC 60167）、

GBT2439-2001硫化橡膠或熱塑性橡膠導電性能和耗散性能電阻率的測定、

GBT1692-2008 硫化橡膠絕緣電阻率的測定、

GB/T3048.5電線電纜電性能試驗方法 絕緣電阻試驗等而設計和制造的，

u  主要技術參數：

型號： ZST-212電阻率測試儀。

電阻范圍：（104 ～10 17）Ω。

電阻測量誤差：  1×104～1×1011 Ω±5%；

1×1011～1×1012 Ω±10%；         

1×1012以上±20%；

測試電壓：10V、50V、100V、250V、500V、1000V。

測試電壓(見表1)、測量范圍(見表2)

表1

表2 不同試驗電壓下各采樣電阻檔位對應的阻值測試范圍表

使用條件

①環(huán)境溫度： 0～40℃

②相對濕度：≤70%

③供電電流：交流220V ±10%  50Hz

儀器可連續(xù)工作8小時

消耗功率：約 10W

u 體積電阻率試驗儀 標準配置：