光譜橢偏儀 - 產(chǎn)品特點

■ 連續(xù)波長的光源為用戶提供了更大的應(yīng)用空間
■ 更簡便快捷的樣品準(zhǔn)直方法
■ 軟件具備豐富的材料數(shù)據(jù)庫
■ 允許用戶自定義色散模型，更方便用戶研究新材料的光學(xué)性質(zhì)
■ 全波長多角度同時數(shù)據(jù)擬合，EMA模型用戶多成分化合物和表面粗糙度分析
■ 具有實驗數(shù)據(jù)和模擬數(shù)據(jù)三維繪圖功能
■ 光譜范圍寬達250 - 1100nm （可擴展至250-1700nm）
■ 功能強大的光譜橢偏測量與分析軟件



光譜橢偏儀 - 技術(shù)指標(biāo)

■ 光源：氙燈
■ 光斑直徑：1-3mm
■ 入射角范圍：20°到90°,5°/步
■ 波長范圍：350-850nm， 250-1100nm， 250-1700nm：0.002°~ 0.02°
■ 波長精度：1nm
■ 測量時間: < 8s （取決于測量模式和粗糙度）
■ 樣品尺寸: 125x125mm 156x156mm,200x200mm電池片, 其他尺寸
■ 測量精度：0.02nm
■ 折射率：0.0002, 100nmSiO2 on Si 
■ 厚度測量范圍：0.01nm ~ 50um
■ 消光比：10^-6