詳細(xì)介紹
應(yīng)用領(lǐng)域:
CVD系列中溫管式爐廣泛適用于中溫CVD工藝,例如:碳納米管的研制、晶體硅基板鍍膜、納米氧化鋅結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)等等;也可適用于金屬材料的擴(kuò)展焊接以及真空或保護(hù)氣氛下熱處理。
主要特點(diǎn):
CVD系列中溫管式爐采用高純石英管或剛玉管作為內(nèi)爐膛。可拆卸式的三面密封方式,具有良好的潔凈度和真空度;耐火,保溫材料全部采用*的輕質(zhì)纖維制品,整機(jī)質(zhì)量輕、能耗低;CVD(Z)系列熱元件采用U型硅鋁(碳)棒或*電阻絲;本系列CVD系列溫控系統(tǒng)采用進(jìn)口多段智能程序溫度控制儀控制,溫度控制具有良好的穩(wěn)定性、重復(fù)性。
主要技術(shù)指標(biāo):
zui高溫度:1350℃
使用溫度:850-1300℃
溫區(qū)個(gè)數(shù):1個(gè)
爐管材料:剛玉管
發(fā)熱元件:電阻絲/硅碳棒
具體工藝可根據(jù)客戶需求專門定制,詳情請(qǐng)登陸企業(yè)門戶,搜索地址欄輸入:www.risine。。com
垂詢: 65583720 ;
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